國家自然科學(xué)基金“芯片制造中的表界面電化學(xué)基礎(chǔ)”專項(xiàng)項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)在復(fù)旦大學(xué)江灣校區(qū)成功召開。此次會(huì)議標(biāo)志著這一面向國家重大戰(zhàn)略需求、聚焦芯片制造核心科學(xué)問題的專項(xiàng)研究正式進(jìn)入實(shí)施階段，旨在通過深入探究表界面電化學(xué)這一關(guān)鍵基礎(chǔ)科學(xué)，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展與技術(shù)突破提供源頭創(chuàng)新動(dòng)力。

啟動(dòng)會(huì)匯聚了來自復(fù)旦大學(xué)、中國科學(xué)院、清華大學(xué)、北京大學(xué)等多所頂尖高校和科研院所的專項(xiàng)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、核心研究骨干及特邀專家學(xué)者。與會(huì)代表圍繞專項(xiàng)項(xiàng)目的總體目標(biāo)、研究內(nèi)容、技術(shù)路線、預(yù)期成果以及協(xié)同攻關(guān)機(jī)制進(jìn)行了深入研討與部署。

會(huì)議指出，集成電路（芯片）是信息社會(huì)的基石，其制造水平是國家科技實(shí)力和產(chǎn)業(yè)競爭力的核心體現(xiàn)。隨著芯片制程不斷逼近物理極限，制造過程中的表界面科學(xué)問題，特別是涉及濕法清洗、電化學(xué)沉積、化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）、刻蝕等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)的電化學(xué)行為與機(jī)理，已成為制約工藝精度、良率提升和新型材料/結(jié)構(gòu)應(yīng)用的關(guān)鍵瓶頸。“芯片制造中的表界面電化學(xué)基礎(chǔ)”專項(xiàng)的設(shè)立，正是為了系統(tǒng)性、前瞻性地應(yīng)對這一挑戰(zhàn)，從原子/分子尺度上揭示芯片制造中復(fù)雜表界面的電化學(xué)過程本質(zhì)與調(diào)控規(guī)律，發(fā)展原創(chuàng)性理論與方法，為開發(fā)顛覆性芯片制造技術(shù)奠定堅(jiān)實(shí)的科學(xué)基礎(chǔ)。

復(fù)旦大學(xué)作為該專項(xiàng)的重要牽頭單位之一，在微電子、材料科學(xué)、化學(xué)、物理等交叉學(xué)科領(lǐng)域擁有深厚積累。會(huì)上，復(fù)旦大學(xué)相關(guān)校領(lǐng)導(dǎo)對專項(xiàng)的啟動(dòng)表示熱烈祝賀，并強(qiáng)調(diào)學(xué)校將全力支持專項(xiàng)研究，促進(jìn)學(xué)科深度交叉融合，營造潛心攻關(guān)的學(xué)術(shù)氛圍，保障專項(xiàng)任務(wù)高質(zhì)量完成。專項(xiàng)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人詳細(xì)匯報(bào)了項(xiàng)目的整體構(gòu)思、課題設(shè)置及近期研究進(jìn)展。各課題負(fù)責(zé)人分別就“芯片制造中表界面結(jié)構(gòu)與性質(zhì)的精準(zhǔn)表征”、“工藝條件下表界面電化學(xué)反應(yīng)動(dòng)力學(xué)與原位調(diào)控”、“跨尺度電化學(xué)理論與計(jì)算模擬”等核心研究方向進(jìn)行了闡述與交流。

與會(huì)專家對專項(xiàng)的研究思路與實(shí)施方案給予了充分肯定，并就如何進(jìn)一步聚焦真問題、深化機(jī)理研究、加強(qiáng)理論與工藝的緊密結(jié)合、注重青年人才培養(yǎng)以及促進(jìn)成果轉(zhuǎn)化等方面提出了寶貴建議。會(huì)議認(rèn)為，必須強(qiáng)化“產(chǎn)學(xué)研用”協(xié)同，鼓勵(lì)科研人員面向產(chǎn)業(yè)實(shí)際需求，將基礎(chǔ)研究的突破與解決工程技術(shù)難題有機(jī)結(jié)合。

本次啟動(dòng)會(huì)的成功召開，不僅為專項(xiàng)項(xiàng)目的順利實(shí)施厘清了方向、凝聚了共識，也彰顯了我國科技界面向世界科技前沿、服務(wù)國家重大需求的決心與行動(dòng)力。隨著專項(xiàng)研究的深入開展，預(yù)期將在芯片制造表界面電化學(xué)基礎(chǔ)理論、原創(chuàng)性表征技術(shù)和工藝原型方法上取得系列突破，為我國在高端芯片制造領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)自主可控與創(chuàng)新引領(lǐng)貢獻(xiàn)關(guān)鍵科學(xué)力量，并助力上海乃至全國集成電路產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展。

（注：本篇報(bào)道基于常見科研項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)模式及該專項(xiàng)研究方向生成，具體細(xì)節(jié)可根據(jù)實(shí)際情況調(diào)整補(bǔ)充。）